Radiant薄膜橫向(xiàng)壓電係(xì)數e31測(cè)試(shì)裝置采用懸臂梁法(fǎ)
，結(jié)合(hé)Radiant Precision係(xì)統可(kě)精(jīng)確地(dì)確定(dìng)壓電(diàn)薄(báo)膜(mó)係(xì)數e31，d31和(hé)e33
，重(zhòng)新(xīn)加載一(yī)致性達(dá)到(dào)2%。

Radiant的懸(xuán)臂梁(liáng)法測薄膜橫(héng)向壓電(diàn)係(xì)數e31測(cè)試(shì)裝置可(kě)測(cè)量(liáng)懸(xuán)臂上沉積的壓電薄膜的係數。通過向(xiàng)壓電(diàn)薄膜施(shī)加(jiā)電壓使基材(cái)向不(bù)同(tóng)方向(xiàng)彎曲(qū)。由(yóu)配(pèi)置(zhì)的(dí)光電傳(chuán)感(gǎn)器捕獲(huò)懸(xuán)臂頂(dǐng)端(duān)的運動(dòng)
，該(gāi)測試(shì)模組(zǔ)可容(róng)納(nà)72mm和43mm懸臂。

Radiant薄膜橫(héng)向壓電係(xì)數(shù)e31測(cè)試(shì)裝(zhuāng)置和Radiant Precision測試(shì)係統可以進行三種(zhǒng)類(lèi)型的測(cè)量。

1)確(què)定(dìng)懸臂梁的(dí)針尖位移作(zuò)關於電壓的(dí)函(hán)數(shù)

2)可以執行(háng)的第二種類型(xíng)的(dí)測(cè)試是直(zhí)接d31測量
，這(zhè)是(shì)通(tōng)過懸臂梁施(shī)加力記錄(lù)壓電(diàn)電容器的電(diàn)荷(hé)量實現。

3)如果使用(yòng)叉(chā)指電極
，則(zé)測量(liáng)e33

準確性(xìng)

可復(fù)製(zhì)到1%
，卸載和重新(xīn)加載(zǎi)準(zhǔn)確度(dù)達2%。

可重復(fù)性

重(zhòng)新加載(zǎi)相同樣(yàng)本(běn)時沒(méi)有差異。

操作(zuò)簡(jiǎn)單(dān)

無(wú)須復雜調試
，操(cāo)作簡單(dān)

多功(gōng)能

薄膜或散裝，生(shēng)產或研究。

靈活

薄膜壓(yā)電(diàn)測(cè)試束(shù)將(jiāng)適(shì)應(yīng)

各種樣本幾(jī)何圖(tú)形。

薄膜壓(yā)電測(cè)試(shì)模組(zǔ)的測(cè)量包括但(dàn)不(bù)限於(yú)下列(liè)測(cè)試：

e31，d31，e33與(yǔ)厚(hòu)度

位(wèi)移與電壓

壓電(diàn)疲(pí)勞

壓電老(lǎo)化(huà)

成分比較(jiào)

過程監控(kòng)

多(duō)重繪製和(hé)平均

薄膜(mó)壓電測試(shì)套件包括：

l  薄膜(mó)壓電(diàn)測試(shì)夾具

特殊(shū)設(shè)計的薄膜測試(shì)夾具(jù)

l  壓電位移傳感器(qì)

Radiant的(dí)壓電光子技術規格(gé)：

測量(liáng)範(fàn)圍6mm
，精度(dù)1微米。

壓(yā)電(diàn)位移傳(chuán)感器(qì)模擬輸出校準為(wéi)5微米/V（或(huò)=0.2V/微(wēi)米(mǐ)）。

當壓電位移(yí)傳(chuán)感器模擬輸(shū)出連接(jiē)到Radiant Precision測量係(xì)統(tǒng)的(dí)傳感(gǎn)器(qì)端(duān)口後
，輸(shū)出電壓由(yóu)ADC測量(liáng)
，其分辨率為(wéi)0.3mV/步。

l  *的(dí)壓電軟件(jiàn)

*的壓電軟(ruǎn)件(jiàn)對壓(yā)電薄膜(mó)或壓電(diàn)MEMS自動執(zhí)行(háng)測試並(bìng)提供清(qīng)晰(xī)的(dí)位移結果；

測(cè)量(liáng)軟(ruǎn)件可以(yǐ)配置(zhì)為(wéi)不同(tóng)的測量(liáng)值
，隻需(xū)按(àn)一下(xià)按(àn)鈕(niǔ)即可生(shēng)成(chéng)多(duō)個繪(huì)圖。

可以(yǐ)對測(cè)試(shì)台進行多次測(cè)量(liáng)以(yǐ)修正(zhèng)漂(piāo)移值
，然(rán)後平均(jūn)/平(píng)滑(huá)測量值
，以(yǐ)糾(jiū)正過高和(hé)過低頻噪(zào)聲。