Nikalyte NL-Cube物理(lǐ)氣(qì)相沉(chén)積(jī)係統是(shì)一(yī)個(gè)緊(jǐn)湊且靈活的(dí)PVD（物理(lǐ)氣相沉積(jī)）係統(tǒng)，具備薄膜，納(nà)米顆粒和(hé)合金沉積(jī)能力。該係統有兩(liǎng)種型(xíng)號(hào)：375型(xíng)（最多(duō)可容(róng)納五個(gè)源，基底(dǐ)直徑(jìng)可(kě)達四英(yīng)寸(cùn)）和300型（最(zuì)多可容(róng)納四個源，基底直(zhí)徑(jìng)可達兩(liǎng)英(yīng)寸(cùn)）。由於(yú)其(qí)體(tǐ)積(jī)相對較小，真(zhēn)空腔體(tǐ)的抽真空(kōng)速度較快(kuài)，周轉時間(jiān)約為(wéi)30分鐘(zhōng)。

Nikalyte NL-Cube物理氣相沉(chén)積(jī)係(xì)統(tǒng)可(kě)兼容多種源(yuán)，包(bāo)括(kuò)磁(cí)控濺(jiàn)射(shè)源，納米顆粒源(yuán)，小型電(diàn)子束源，熱(rè)舟(zhōu)源(yuán)以(yǐ)及(jí)原子和離子源(yuán)。係(xì)統可(kě)以配置(zhì)為向上(shàng)濺射或向(xiàng)下濺射模式。此(cǐ)外，還提供(gōng)基(jī)底(dǐ)旋(xuán)轉(zhuǎn)，偏壓以及最(zuì)高可達800℃的(dí)加熱(rè)選項。

真空(kōng)腔(qiāng)體在(zài)英國(guó)製(zhì)造，采(cǎi)用高(gāo)質量的304不鏽鋼(gāng)材質(zhì)，並(bìng)配有(yǒu)輕質鋁製(zhì)門(mén)。它安裝在一個係(xì)統(tǒng)機架(jià)上(shàng)，該機架包含控製係(xì)統(tǒng)，電源和(hé)真空泵(bèng)。整(zhěng)個係統配備(bèi)輪(lún)子以(yǐ)便(biàn)移動，並(bìng)在定位後(hòu)可(kě)鎖(suǒ)定腳(jiǎo)部以固定位置(zhì)。

集(jí)成(chéng)的PC和多功能Spectrum軟(ruǎn)件(jiàn)提(tí)供(gōng)了無(wú)縫的用(yòng)戶(hù)體(tǐ)驗，使客(kè)戶(hù)能夠(gòu)遠程控(kòng)製該係統並運行(háng)復雜的工(gōng)藝配方。

關鍵特性：

·         可(kě)用(yòng)的源包(bāo)括磁控(kòng)濺射源(yuán)，納(nà)米粒子源，小型(xíng)電子束(shù)源，熱舟(zhōu)蒸(zhēng)發(fā)源，原(yuán)子源(yuán)和(hé)離(lí)子源(yuán)。

·         提(tí)供向(xiàng)上濺射或向(xiàng)下(xià)濺射(shè)配(pèi)置。

·         提供(gōng)旋(xuán)轉(zhuǎn)，偏壓以(yǐ)及高達800℃的(dí)加熱選(xuǎn)項。

·         周(zhōu)轉(zhuǎn)時間約(yuē)為(wéi)45分鐘。

·         真空度可達(dá)5×10⁻⁷托。

·         係(xì)統(tǒng)機(jī)架(jià)包(bāo)含(hán)控製(zhì)係(xì)統，電源和(hé)泵(bèng)。

·         集成的個人(rén)電腦(nǎo)配(pèi)備Spectrum軟(ruǎn)件(jiàn)，可實(shí)現自動(dòng)化過(guò)程控製，復雜配(pèi)方(fāng)和數據(jù)記錄。

The Cube係(xì)統(tǒng)配(pèi)置(zhì)：