Nikalyte NL-FLEX物理氣相沉積(jī)係(xì)統是一(yī)款超(chāo)多功能(néng)的PVD（物(wù)理氣(qì)相沉(chén)積(jī)）係(xì)統(tǒng)，能(néng)夠生成納(nà)米(mǐ)顆粒和薄膜，非(fēi)常(cháng)適(shì)合(hé)工業和學術研究(jiū)。NL-FLEX可(kě)以容納(nà)各種(zhǒng)類型的基底，包括卷對卷，非(fēi)平(píng)麵和(hé)粉末塗(tú)層(céng)。它(tā)適(shì)用於(yú)廣(guǎng)泛的(dí)應(yīng)用領(lǐng)域，包(bāo)括(kuò)催化，光(guāng)子學(xué)，能(néng)量存(cún)儲，傳感(gǎn)器和生命(mìng)科(kē)學。這(zhè)種(zhǒng)模(mó)塊化的(dí)PVD沉積(jī)係統(tǒng)可(kě)以(yǐ)與分析工(gōng)具(jù)集成(chéng)，為(wéi)您(nín)提(tí)供定製化(huà)的(dí)研究(jiū)解(jiě)決(jué)方案。

主要特(tè)點：

·         通過(guò)結合(hé)納(nà)米(mǐ)顆粒(lì)和薄(báo)膜生成復雜材(cái)料(liào)。

·         使用NL-UHV技術生產(chǎn)無烴納(nà)米(mǐ)顆(kē)粒。

·         空(kōng)間(jiān)寬敞(chǎng)且易於進(jìn)入的真空(kōng)腔(qiāng)，非(fēi)常(cháng)適(shì)合(hé)處理(lǐ)精(jīng)細和復雜(zá)的(dí)基底(dǐ)。

·         可選擇向(xiàng)上或(huò)向(xiàng)下配(pèi)置的源(yuán)。

·         兼容(róng)第(dì)三方源(yuán)。

·         提(tí)供(gōng)旋轉(zhuǎn)，加熱(rè)和(hé)偏置(zhì)選(xuǎn)項(xiàng)，用(yòng)於三維物(wù)體的(dí)塗(tú)層。

·         自動(dòng)化(huà)且由(yóu)配方(fāng)驅(qū)動(dòng)的軟件。

·        

基礎(chǔ)係統(tǒng)配置(zhì)：

·         沉(chén)積(jī)腔(qiāng)尺寸：450 mm × 450 mm × 450 mm

·         基(jī)礎真(zhēn)空(kōng)度：< 5×10⁻⁷托

·         濺(jiàn)射方向：向(xiàng)下(xià)濺(jiàn)射

·         樣(yàng)品台：4英寸晶(jīng)圓，20轉(zhuǎn)/分鐘旋轉

·         抽(chōu)真空係(xì)統(tǒng)：700升(shēng)/秒渦輪分(fēn)子泵，配(pèi)備7.2立方米/小(xiǎo)時幹(gān)式(shì)前(qián)級泵

·         閥門：手(shǒu)動閥(fá)門，快(kuài)門(mén)和(hé)綫性驅動裝(zhuāng)置

·         控(kòng)製(zhì)軟(ruǎn)件：配方驅(qū)動(dòng)的工藝控製，電(diàn)源(yuán)控製和數(shù)據(jù)記(jì)錄

·         原(yuán)位監測：石(shí)英(yīng)晶體微(wēi)量天平用(yòng)於工藝(yì)監測和終點(diǎn)檢測

·         源(yuán)端口：最(zuì)多可連接6個(gè)沉積(jī)源

·         源類(lèi)型：納(nà)米顆(kē)粒源，磁控(kòng)濺射(shè)源(yuán)，小(xiǎo)型電子(zǐ)束蒸(zhēng)發(fā)源，熱舟源，K型離子(zǐ)源，射頻原(yuán)子源

Nikalyte NL-FLEX物理氣相(xiāng)沉(chén)積係(xì)統(tǒng)可選配置(zhì)：

·         可拆卸的沉(chén)積屏蔽裝置(zhì)

·         向上(shàng)配置的源幾(jī)何(hé)結構

·         樣(yàng)品台選項：

o    直流偏置用於(yú)納(nà)米顆(kē)粒(lì)加(jiā)速(sù)

o    射頻偏(piān)置(zhì)用於樣品(pǐn)表(biǎo)麵清(qīng)潔(jié)

o    加熱(rè)至800℃

·         閥門(mén)，快門和綫性驅動裝置(zhì)的自(zì)動化選項

·         渦(wō)輪(lún)泵前的可調擋板，用(yòng)於在(zài)較低氣體(tǐ)流(liú)量(liáng)下(xià)增(zēng)加濺(jiàn)射(shè)的(dí)動態(tài)壓力範圍

·         單獨抽(chōu)真空(kōng)的裝卸鎖和(hé)傳(chuán)輸(shū)臂(bì)