Nikalyte NL-UHV超(chāo)高(gāo)真空納米顆粒(lì)沉(chén)積源

產品編(biān)號(hào)：Nikalyte NL-UHV超(chāo)高(gāo)真空納米(mǐ)顆粒沉(chén)積源

類別：製(zhì)造(zào)
，納米(mǐ)顆粒沉積
，技(jì)術

NL-UHV能夠(gòu)在(zài)超真空中生(shēng)成(chéng)和沉(chén)積納(nà)米顆(kē)粒，以在樣(yàng)品(pǐn)上創建(jiàn)功能(néng)化(huà)表(biǎo)麵(miàn)。 可以通過(guò)精(jīng)確(què)控製(zhì)納米顆粒(lì)的尺(chǐ)寸
，組(zǔ)成和結(jié)構(gòu)來定(dìng)製納米顆粒塗層(céng)的(dí)特性，從而實現定製化(huà)特性(xìng)。

NL-UHV儀(yí)器(qì)允(yǔn)許將超(chāo)純納米顆粒(lì)直(zhí)接(jiē)沉積(jī)在各種基(jī)底(dǐ)和(hé)材料上(shàng)。可(kě)以調整(zhěng)膜的(dí)密(mì)度(dù)，並且塗層(céng)能(néng)夠很好地(dì)附著在樣品表麵(miàn)。 NL-UHV有(yǒu)多種配置可(kě)供選擇，包(bāo)括單(dān)個1英(yīng)寸和(hé)2英(yīng)寸(cùn)源，以(yǐ)及(jí)三重1英寸源(yuán)NL-DX3，後者(zhě)允許(xǔ)單獨或作(zuò)為(wéi)合(hé)金沉積多達三種(zhǒng)材料(liào)。 NL-QMS質(zhì)量過(guò)濾(lǜ)器(qì)提(tí)供了對(duì)納米(mǐ)顆粒(lì)沉積的(dí)高級(jí)控(kòng)製(zhì)，允許實時按(àn)質(zhì)量(liáng)或(huò)直(zhí)徑掃描或(huò)過濾納米顆(kē)粒(lì)。 NL-QMS通過用戶友(yǒu)好的WindowsTM軟件操(cāo)作(zuò)，為沉積(jī)過程(chéng)提(tí)供(gōng)了直觀的控製。

介(jiè)紹超真(zhēn)空-合(hé)金(jīn)納(nà)米(mǐ)顆(kē)粒沉積 Nikalyte NL-UHV，合(hé)金納米(mǐ)顆(kē)粒沉(chén)積儀(yí)器(qì)係列，能(néng)夠(gòu)在超(chāo)真(zhēn)空(kōng)中將納米顆(kē)粒生(shēng)成(chéng)並沉(chén)積到(dào)您(nín)的(dí)樣品上，以(yǐ)創建功(gōng)能(néng)化(huà)表麵。通過(guò)精(jīng)確控(kòng)製納米顆粒的尺(chǐ)寸(cùn)
，組(zǔ)成和結構，可(kě)以定製(zhì)納米(mǐ)顆粒塗層(céng)的特性(xìng)。

與(yǔ)化(huà)學(xué)技(jì)術(shù)不(bù)同(tóng)，NL-UHV係列儀器允許(xǔ)將超純(chún)納(nà)米顆(kē)粒直接沉積在各(gè)種基(jī)底和(hé)材(cái)料上。可以(yǐ)調(tiáo)整(zhěng)膜的(dí)密度(dù)，且膜本(běn)身(shēn)可(kě)以高度附(fù)著在樣(yàng)品(pǐn)表麵(miàn)。

NL-UHV可配備(bèi)單個1英(yīng)寸
，2英(yīng)寸(cùn)源(yuán)或(huò)三(sān)重1英寸(cùn)源NL-DX3。NL-DX3允(yǔn)許(xǔ)使(shǐ)用(yòng)兩(liǎng)種或(huò)三種材(cái)料同(tóng)時單(dān)獨或(huò)作(zuò)為合(hé)金(jīn)沉積多達(dá)三種材料(liào)。

為了實現對納(nà)米顆粒(lì)沉積的控(kòng)製，Nikalyte NL-QMS質量(liáng)過濾(lǜ)器允(yǔn)許實時按(àn)質量或納米顆粒直(zhí)徑(jìng)掃描或過(guò)濾(lǜ)沉(chén)積的納(nà)米(mǐ)顆粒，使(shǐ)您(nín)能夠優(yōu)化生(shēng)長條件(jiàn)。NL-QMS通過

我(wǒ)們(mén)簡單直觀的WindowsTM軟(ruǎn)件(jiàn)進行(háng)控製。

納米塗層孔隙(xì)率(shuài)

NL-UHV能夠生成帶電和不帶電的納米顆(kē)粒，但大(dà)部分納(nà)米(mǐ)顆(kē)粒帶有負電(diàn)荷(hé)。納米(mǐ)顆粒(lì)的帶電(diàn)狀態意味著(zhuó)它(tā)們可以通(tōng)過靜電操(cāo)縱，無論是聚(jù)焦(jiāo)
，偏(piān)轉(zhuǎn)還(huán)是(shì)加(jiā)速。通過在樣(yàng)品上施加(jiā)正加速偏壓(yā)，可以(yǐ)控(kòng)製沉積(jī)的納米(mǐ)顆粒(lì)層的(dí)孔隙(xì)率。對於(yú)低加(jiā)速(sù)偏壓（約(yuē)幾百(bǎi)伏(fú)），納米顆粒會輕(qīng)柔(róu)地著陸並(bìng)形(xíng)成(chéng)高度多(duō)孔(kǒng)的層(céng)。在更(gēng)高(gāo)的加速能量（約1千(qiān)伏(fú)）下，納(nà)米(mǐ)顆(kē)粒(lì)會(huì)經歷(lì)一(yī)定(dìng)程(chéng)度的(dí)界麵混合(hé)，並且(qiě)更牢固地(dì)附(fù)著(zhuó)在基底上。在非常(cháng)高的加速能量(liáng)下，沉(chén)積(jī)的(dí)納米顆粒(lì)層(céng)會恢復(fù)到塊體(tǐ)特(tè)性，對於(yú)軟基(jī)底(dǐ)，甚(shèn)至(zhì)可(kě)以植入(rù)基底材料中。 通(tōng)過控製加(jiā)速(sù)偏壓和選擇(zé)基底(dǐ)材料，可以創(chuàng)建一(yī)係列不同的(dí)塗層(céng)，從(cóng)輕柔著陸(lù)的納米(mǐ)多孔層(céng)（適(shì)用(yòng)於(yú) delicate substrates，如 polymers 和 graphene）到高(gāo)度(dù)附(fù)著的，甚(shèn)至在(zài)某些(xiē)情況(kuàng)下植入(rù)的納米顆粒(lì)塗層。通(tōng)過在整(zhěng)個(gè)沉(chén)積過(guò)程中改(gǎi)變(biàn)加速偏壓，也(yě)可以(yǐ)創建(jiàn)具(jù)有(yǒu)梯度孔隙率(shuài)的(dí)塗(tú)層(céng)。

納米(mǐ)顆(kē)粒結(jié)構

納米塗層通常(cháng)是由晶體(tǐ)或(huò)非晶(jīng)態納米(mǐ)顆粒組成的三(sān)維材料。 納(nà)米顆粒(lì)的結構(gòu)因(yīn)其(qí)尺寸(cùn)而受到(dào)強(qiáng)烈影響(xiǎng)，因(yīn)為其(qí)表麵(miàn)能(néng)與二(èr)維或(huò)塊體材料相比更強。 納(nà)米(mǐ)顆(kē)粒在聚集區的停(tíng)留時間和(hé)等(děng)離子(zǐ)體(tǐ)溫度(dù)也在形成過(guò)程中(zhōng)發揮作用。 通過調整磁控管(guǎn)功率
，聚集(jí)長(cháng)度和氣(qì)體(tǐ)流量等工(gōng)藝參數(shù)，可以形(xíng)成不同(tóng)的納(nà)米顆粒(lì)結(jié)構(gòu)。 NL-UHV冷卻夾套(tào)還(huán)提(tí)供了(liǎo)選(xuǎn)擇(zé)水(shuǐ)冷或液(yè)氮(dàn)冷(lěng)卻的(dí)選(xuǎn)項。 使(shǐ)用液氮(dàn)冷卻(què)可以對聚集區(qū)的溫(wēn)度進(jìn)行(háng)更廣(guǎng)泛(fàn)的(dí)控製，這對於在極(jí)低溫(wēn)度(dù)下成核（形(xíng)成納米(mǐ)顆粒(lì)）的材料（如矽）特(tè)別(bié)有(yǒu)用。 研究表明(míng)，液氮(dàn)可(kě)以(yǐ)將(jiāng)矽的(dí)沉積速率(shuài)提(tí)高(gāo)幾個(gè)數(shù)量(liáng)級。