Mini E-Beam Evaporator小型(xíng)電(diàn)子(zǐ)束(shù)蒸發器(qì)是一(yī)種用於高(gāo)精度薄膜沉積(jī)的edge-cutting工(gōng)具
。它(tā)適用於研究和(hé)生(shēng)產(chǎn)環(huán)境，這(zhè)種(zhǒng)緊(jǐn)湊的(dí)係(xì)統利(lì)用電子束直接加熱坩(gān)堝中的蒸發物，能夠(gòu)以的控(kòng)製力沉(chén)積金(jīn)屬
。與傳統(tǒng)的(dí)熱(rè)蒸(zhēng)發(fā)方法相(xiāng)比(bǐ)，Mini E-Beam Evaporator具有更(gēng)高的(dí)效率，對基(jī)底的熱(rè)負(fù)荷(hé)更低，並(bìng)且(qiě)能夠同(tóng)時共(gòng)蒸(zhēng)發多種材(cái)料(liào)，使(shǐ)其(qí)成為(wéi)各種(zhǒng)塗層(céng)應用中多(duō)功能且(qiě)可(kě)靠的解(jiě)決方(fāng)案
。

Evap-4兼容超(chāo)高(gāo)真空(kōng)（UHV），可以(yǐ)單獨(dú)提(tí)供(gōng)，也(yě)可以與Nikalyte定(dìng)製的任(rèn)何(hé)PVD係統集成
。

關鍵(jiàn)特性：

·         最(zuì)多(duō)可(kě)共蒸(zhēng)發(fā)4種材料(liào)

·         緊(jǐn)湊(còu)的(dí)源設計

·         對(duì)基(jī)底的熱負荷低

·         集成4通道電(diàn)源

·         用於速(sù)率(shuài)監測(cè)的通量測量

·         兼(jiān)容(róng)超(chāo)高真空

·         可(kě)烘(hōng)烤(kǎo)至250°C

·         包(bāo)括手(shǒu)動(dòng)或(huò)氣動控(kòng)製(zhì)快門(mén)的(dí)選擇

·         可(kě)定製的真空內長度

Mini E-Beam Evaporator小型(xíng)電子束蒸(zhēng)發(fā)器(qì)規格(gé)：

·         安裝(zhuāng)法蘭(lán)：NWCF63

·         真(zhēn)空(kōng)內長(cháng)度：標準300毫米（可(kě)定製長度）

·         真空內直(zhí)徑(jìng)：57毫(háo)米

·         坩(gān)堝體積：1000毫(háo)米³（1立方(fāng)厘米(mǐ)）

·         坩堝材(cái)料：鉬（Mo），鎢（W），石墨（Gr）

·         坩堝襯(chèn)裏(lǐ)：氧化鋁（Al₂O₃），氮化(huà)硼(péng)（PBN）

·         超高(gāo)真空(kōng)兼容性：是(shì)，可(kě)烘(hōng)烤至250攝氏度(dù)

·         冷卻液(yè)流量：Min.1.0升(shēng)/分(fēn)鐘(zhōng)

·         功率：單(dān)相100-240伏交流電(diàn)，50/60赫茲

·         快(kuài)門(mén)：內置手(shǒu)動(dòng)或(huò)可(kě)選(xuǎn)氣動操作(zuò)