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Evap-4 Power Supply電(diàn)子束蒸發電壓控製(zhì)器

簡要描(miáo)述:Evap-4 Power Supply電(diàn)子束(shù)蒸(zhēng)發(fā)電壓控(kòng)製器(qì)用(yòng)於電(diàn)子束(shù)蒸(zhēng)發器,具有(yǒu)高效,緊湊(còu)的4通(tōng)道,具備共(gòng)蒸發能(néng)力。迷你電子束蒸(zhēng)發器(qì)能夠在沉(chén)積(jī)常見工(gōng)藝(yì)金屬(如(rú)金(jīn),銀和鉻(gè))時(shí)提(tí)供佳的控(kòng)製力,並且與(yǔ)熱舟(zhōu)源相(xiāng)比,對(duì)基底和周圍環(huán)境的(dí)熱(rè)負(fù)荷極小(xiǎo)。

  • 產品(pǐn)型(xíng)號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理(lǐ)商
  • 更新(xīn)時間:2025-02-01
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量(liáng):1683

詳細介紹

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Evap-4 Power Supply電子(zǐ)束蒸發(fā)電(diàn)壓控製器用(yòng)於電子束(shù)蒸發器(qì),具有高效,緊湊(còu)的4通道(dào),具備(bèi)共蒸發能力。迷你電子(zǐ)束蒸(zhēng)發(fā)器(qì)能夠(gòu)在沉(chén)積(jī)常(cháng)見工藝(yì)金(jīn)屬(shǔ)(如(rú)金(jīn),銀和鉻(gè))時(shí)提供(gōng)佳的控(kòng)製力,並且(qiě)與(yǔ)熱舟(zhōu)源相(xiāng)比,對(duì)基底(dǐ)和周圍環(huán)境的(dí)熱負荷極小。

Evap-4 Power Supply電子束蒸(zhēng)發電壓控製器

這種(zhǒng)技(jì)術利用(yòng)電子束(shù)直(zhí)接(jiē)蒸發棒(bàng)狀材(cái)料,或者通(tōng)過(guò)加(jiā)熱偏置(zhì)坩堝(guō)間(jiān)接(jiē)蒸發材料。當(dāng)從坩堝(guō)蒸(zhēng)發時(shí),部(bù)分(fēn)準(zhǔn)直的電子(zǐ)束在(zài)材(cái)料(liào)利用率(shuài)方(fāng)麵(miàn)比(bǐ)傳(chuán)統電子束蒸(zhēng)發器或熱(rè)舟源更(gēng)具優勢,尤(yóu)其是在處(chǔ)理(lǐ)昂貴(guì)材料時。
主動(dòng)冷卻(què)的銅頭(tóu)設計使得在(zài)運行過程中幾乎不產生(shēng)放(fàng)氣,而(ér)封(fēng)閉的(dí)蒸發(fā)槽可以(yǐ)吸收(shōu)大部分(fēn)輻射(shè)熱,從而進一步降(jiàng)低(dī)對(duì)基底(dǐ)的(dí)熱負荷(hé)。Evap-4非(fēi)常適(shì)合(hé)在(zài)溫度敏感(gǎn)的(dí)基底上(shàng)沉積精(jīng)確的薄膜(mó)塗層。Evap-4配備了通量(liáng)板,用於測量源材料發出的(dí)離子通量,並提供(gōng)沉(chén)積速(sù)率(shuài)的(dí)獨(dú)立(lì)測量(liáng)。
Evap-4 Power Supply電(diàn)子束(shù)蒸發(fā)電壓控製(zhì)器可(kě)在(zài)一(yī)個(gè)單元內控製多(duō)達4個蒸(zhēng)發槽,並(bìng)提(tí)供兩(liǎng)種控製(zhì)模式(shì):
  • 燈絲電(diàn)流控製:用戶(hù)直接調節(jié)燈絲(sī)電流。
  • 功(gōng)率控(kòng)製:用戶設置功率(shuài)設定點(diǎn),電源(yuán)會(huì)自(zì)動調節燈絲電流以達到(dào)所需的(dí)功率。

規格(gé)參(cān)數(shù)
  • 安(ān)裝(zhuāng)法蘭:NWCF63
  • 真空內(nèi)長(cháng)度:標(biāo)準(zhǔn)300毫(háo)米(mǐ)(可(kě)定製長(cháng)度)
  • 真空內直(zhí)徑(jìng):57毫米(mǐ)
  • 坩堝體(tǐ)積:1000毫米³(1立方(fāng)厘(lí)米(mǐ))
  • 坩(gān)堝(guō)材(cái)料:鉬(mù)(Mo),鎢(W),石墨(mò)(Gr)
  • 坩堝襯裏:氧化(huà)鋁(lǚ)(Al₂O₃),氮(dàn)化(huà)硼(PBN)
  • 超高真空(UHV)兼(jiān)容(róng)性:是,可烘烤至(zhì)250°C
  • 冷(lěng)卻(què)液(yè)流量(liáng):Min1.0升/分鐘(zhōng)
  • 快(kuài)門(mén):手(shǒu)動或可選(xuǎn)氣動執行器(qì)
  • 功(gōng)率(shuài):單相(xiāng)100-240伏(fú)交流電,50/60赫(hè)茲(zī)


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